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大面积矩形腔微波等离子体系统
日期时间:2021-09-14 挑选:10640
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应用:大占地面长方形腔微波加热等铝离子体控制系统


反映:徽波等阴离子体


GMPS-2010K大绿地面积矩形框腔微波通信等阴阳离子体系统化


一、技术性显著特点及作用


● HMPS-2010K一套挖槽波导耦合电路,以大占地面积多边形等正阴阳阴离子体电池充电腔建模 为原则,相结合我新公司多年的搞徽波加热等正阴阳阴离子体模式的竞争优势专用方案制造的1Kw/2450MHz经的主要用途、高平衡中低档压强徽波加热等正阴阳阴离子体整合工作和加工生产的设备。


● 机程序将红外光源,红外光无线传输机程序,机械泵和预估机程序,两路口科学实验室气体产品用户掌控机程序包括总体目标不间断掌控机程序等各个部门分设计地组和成的一种齐全的设施设备,它还具有性能参数专业、功能键全面、结构的适宜,便用方便简洁、安全保障可信、外型不美观,专门合适应该用于多种类红外光等正离子体合理科学实验和加工处理等高新区科技创新领域。


二、软件系统组合而成和基本特别:


●体系常用公司发明获得成功的全新名将HMG-2010C,1Kw/2450MHz高稳定测算机程控微波射频射频工率源,其微波射频射频工率0.1 ~ 1kW间隔可以调节,稳定度远低于±1%,有效调控特性参数好,里面单支机提供了便手工程控,实行流程有效调控,伴随用于了先进典型的磁控管灯丝降血压监控枝术水平,无电解电容电感滤波的高要求工做电压反馈意见调节稳定枝术水平各类健全的电路人身安全保障互锁有效调控体系,使体系工做人类寿命更长久,特性参数美丽,人身安全保障稳定,操作方法非常简单便。


●软件运用了由高效能红外光通信通信环行器,電動三销钉配制器,带散射层波送样的水电机负载电阻、过量等相连波导构造的不错红外光通信通信文件无线传输软件。它保障散射层波对磁控管的优质隔离霜,使之稳固运行,又能在等阳离子体电机负载电阻大范围图转变 时能快捷地调接合适搭配,以达到红外光通信通信任务电机功率的合适文件无线传输,并经由散射层波送样,以数值表示散射层任务电机功率强弱和及时运行方式。


●跨平台口多边形微波射频加热等铝离子体释放腔,本设计主要采用了8个表层,由优异不锈钢材料熔接而成的水冷散热器框架的大容积怎么算释放腔,它与长的开糟波导连接成二合一,其上从表面借助一同高质量石英石板(440x200x15mm)维持微波射频加热接入和高压气胶封,该释放腔兼具如下功用表层:


1)在释自放电能腔右下面建立φ150mm园形飞速转动门式往来料任务栏,可便宜放置大直径不低于的基片产品的样品,又带石英砂钢化玻璃和线状微波加热屏蔽了任务栏,工作中中时模糊不清观查腔内释自放电能工作中中状况。


2)在尖端放电腔东南部组选制定俩个φ150mm带石英晶体玻璃板和蜂窝状微波通信禁掉的预留窗体, 可供基片表面上气象观测和别的自动测量需要时的原则接头.


3)在充放腔底层上面放置一名KF-25准则串口与涡流泵和涡流设备相联结。


4)在充放电腔后侧对应点设制4个KF-25规定表层供温度检测和等铁离子体初步判断usb接口。

5)在充放电腔左面面定制规格usb接口与天燃气和实验室气体高质量用户量调节设计相邻接。 真空系统系统室体荣获和测控设计,设计应用抽速为 4L / min的直连式高功能设备泵和电磁炉阀,其加速度真空系统系统室体度6×10-2 Pa,设计配备中低电压强内阻(十足~ 1x10-1Pa)和压(100Pa~100kPa)两件真空系统系统室体计,衡量义表居于机柜在其中, 便捷真空系统系统室体和实验室气体用户量的调节和读数。


●空气效率用户的操纵设计设计,运用四公里空气效率用户的操纵设计设计,内置放机 机柜中,气路短、省油的suv、凭借角阀和针阀的操纵转换颇为更方便。 


●程序还设计方案了功效性其全,保障顺畅的综合电力工程保持程序,分着融合于这台机柜中,它更具耐腐蚀性领先、功效性完整、结构设计合理可行,实用便利、的安全可信、看上去漂亮。


三、系统指标

                           技术参数

上班速度

2450±50MHz

的输出功率

0.1-1kW间断性可调式

热效率不稳定性度

(在額定热效率电平) 远远高于±1%

输入波导电源接口

耗油率头外置带FD-26准则活套法兰

管控方式

人工手动开启机组程序代码把控,变现电脑屏程序代码把控

插入交流电源

380V±10% 50Hz,380V四线,4kVA

降温水量

 5 L/min

体统驻波指数

VSWR ≤ 1.5

智能销钉调派器功能性

额定负载较高影响范围图内可采用电子控制系统可以调节,使VSWR稳定在最适宜指数值。其光反射瓦数电平在红外光源的面版上 以自然数表呈现。

熔融石英封闭窗长宽

440(L)×200(W)×15(H)mm

腔体长度

440(L)x 200 (W) x 250 (H) mm

真空体操作系统

级限重力作用度,相较于1×10-1 Pa。

气路设计

四公里MFC ( Mass Flow Control )系统性,各气路量限由客户确保

系统外表尺码

1.7(L)x 0.7(W)x 1.5(H)m

机消耗量

约700 kg



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