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规格：贷款用途微波射频等阴阳离子体（CVD）系統

说明书：微波射频等阴阳离子选用

GMPS-2050经常作用微波射频等亚铁离子体（CVD）系统化

水平结构特征及使用

● 机系統化主要采用GMG-2050，5kW/2450MHz高稳定性程控微波射频耗油率源。利用进一步完善的路线图安会性高互锁操控机系統化，使该机系統化工作上使用期限长，电器机械性能达标率，安会性高稳定，操作步骤比较简单省事。

● 红外光通信互传程序由高的性能红外光通信环行器，销钉调整器，带条件全反射波取样方法的水电机负载及及异常相连波导组合。它抓好条件全反射波对磁控管的更好要进行隔离，并能更方便地调节器绝佳匹配好，做到红外光通信最大功率的绝佳互传。

● 压注式徽波影响腔可在很宽的运动比率内把徽波电功率交叉耦合给等亚铁铁离子体，在等亚铁铁离子体蓄电池充电室中生产高体积密度、高电离度、大建筑面积更加均匀平稳的徽波蓄电池充电。为保障平稳工做, 腔壁使用加厚水冷式。

● 多机口等阴离子体尖端释放电能腔带8～18个服务器端口，是双层线路油冷构成的大容量尖端释放电能腔。

● 系统软件最主要的用处： 1）金刚石等多个聚酰亚胺膜的化学式汽相堆积的理论研究和中试生产激光加工；2）基片的刻蚀和灰化；3）当做高孔隙率、宽束化合物源；4）恒温阳极非金属氧化物的的生长；5）等化合物体表面层除理和两种进行实验生产激光加工。

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